在半導體制程工業(yè)中,芯片生產(chǎn)要經(jīng)歷幾百道工序,就會用到大量特殊氣體。大多數(shù)特殊氣體易燃、易爆、劇毒、腐蝕性氣體,為了安全輸送和使用這些危險氣體,半導體廠將安裝電子特殊氣體系統(tǒng),配備電子特殊氣體柜GC、氣體分配箱VMB、特殊氣體泄漏監(jiān)測報警器等特殊設備。
因特種氣體的特殊性,承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體,同時為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全,應具備多種功能,如柜內(nèi)氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等,提高使用安全系數(shù),有效的保護生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次,半導體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

S2的對象是半導體工藝設備,是環(huán)境、健康、安全標準,即EHS標準,因為半導體行業(yè)涉及許多特殊氣體、化學品和電氣、游離和非游離輻射,如果處理不當,下游用戶使用容易導致事故甚至災難,因此設備制造商設備產(chǎn)品如電子氣柜,SEMIS2認證極其重要。
從上述描述可以看出,在半導體制造過程中,需要安全和穩(wěn)定使用特殊氣體,普通氣瓶柜在材料和功能上都不能滿足要求,因此半導體行業(yè)應配備具有SEMIS2認證的電子特殊氣體柜。
在現(xiàn)代企業(yè)管理中,職業(yè)健康安全管理體系(OH&S)的內(nèi)審是確保工作場所安全的重要環(huán)節(jié)。通過內(nèi)審,企業(yè)能夠識別和評估潛在風險,采取預防措施,從而避免事故發(fā)生,保障員工健康和企業(yè)財產(chǎn)安全。
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